Diffusionsöfen

Das Kanthal Portfolio umfasst Diffusionskassetten für die Wärmebehandlung von kristallinen Siliziumwafern für Solar- und Halbleiteranwendungen.

Diffusionskassetten von Kanthal decken ein breites Portfolio an Verfahren ab, wie beispielsweise:

  • Schnellkühlungsanwendungen wie Plolyimidhärtung
  • Oxidation
  • LPCVD-Nitrid

Verwandte Produkte

Hier finden Sie die Kanthal Produktübersicht

Fibrothal® Diffusionskassetten
Fibrothal® Heizmodule
Hochtemperatur- und Widerstandsmaterial