Casetes de difusión

Los casetes de difusión Fibrothal® son una solución tipo «conectar y calentar» para la producción de obleas de silicio cristalino de alta calidad para células solares y semiconductores. Los casetes de difusión son del tipo de diseño de masa baja con elementos verticales u horizontales para aplicaciones con temperaturas de funcionamiento de hasta 1350 °C (2460 °F). Se pueden entregar a pedido calentadores personalizados para aplicaciones específicas.

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Información

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Depending on the furnace requirements, Kanthal® can accomodate high-temperature demanding processes with our range of heating materials.

Operating Temperature: 300°C -1100°C 600°C - 1250°C 800°C - 1350°C
Primary Element Material (horizontal & vertical): Kanthal® A-1, Kanthal® AMR & Kanthal APM™ Kanthal® A-1, Kanthal® AMR & Kanthal APM™ Kanthal APM™ & Kanthal APM™ HP
Dimensions: Flexible to application requirements, consult factory

Características

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Benefits:

Depending on furnace requirements, both element orientations can be designed to perform consistently for extended lifetimes to reduce maintenance and replacement time. With options for Energy Savings Elements or fast cooling, Kanthal heating elements will help you maximize performance.

Applications:

The vertical and horizontal heating elements are used in many different atmospheric and LPCVD thermal processes. This includes pyrogenic oxidation, liquid source deposition as well as silicon nitriding and polysilicon processes.