Kanthalプログラムには、半導体用の結晶シリコンウェハーの製造用の拡散炉用カセットが含まれます。
Kanthal拡散炉用カセットは次のような広範なプロセスをカバーしています。
当社では、拡散炉など、さまざまな種類のLPCVD炉(低圧化学蒸着炉)向けの製品を提供しています。