当社では、拡散炉など、さまざまな種類のLPCVD炉(低圧化学蒸着炉)向けの製品を提供しています。
カンタル製品一覧
太陽電池や半導体向け結晶シリコンウェハーの製造に使用される拡散炉用カセット
金属ヒーター、MoSi2ヒーター、およびSiCヒーター
電気ヒーターとセラミックファイバーまたは高密度セラミック断熱材で構成される発熱体モジュール
