拡散炉用カセット

Fibrothal®拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。 拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。 ご要望に応じたヒーターも提供することができます。

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インフォメーション

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炉の要件に応じて、Kanthal®は当社のさまざまな加熱材料を使用して、高温が厳しく要求されるプロセスに対応できます。

運転温度 300°C～1100°C 600°C～1250°C 800°C～1350°C
一次発熱体材料(横型と縦型): Kanthal® A-1、Kanthal® AMR & Kanthal APM™ Kanthal® A-1、Kanthal® AMR & Kanthal APM™ Kanthal APM™およびKanthal APM™ HP
寸法: 用途に合わせて柔軟に対応します。工場にご相談ください

製品仕様

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メリット:

炉の要件に応じて、両方の発熱体が安定して動作するようにその向きを設計して、寿命を延ばし、メンテナンスと交換の時間を短縮することができます。 省エネ発熱体または急速冷却用のオプションを備えたKanthalのヒーターは、性能の最大化に役立ちます。

用途:

縦型ヒーターと横型ヒーターはさまざまな雰囲気/LPCVD (圧化学蒸着炉)の加熱プロセスで利用されています。 これには、熱酸化、液体源堆積、窒化ケイ素、ポリシリコンプロセスがそれぞれ含まれます。