拡散炉用カセット

Fibrothal拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。

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拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。ご要望に応じて、特定の用途向けにカスタマイズしたヒーターも提供することができます。

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