Fibrothal® Diffusionskassetten

Leichte Kassetten bestehen aus Draht mit geringem Durchmesser, der kalt zu gewellten Mustern oder spiralfederartigen Mustern geformt wurde. „Leicht“ bezieht sich auf den Einsatz von dünnem Draht bei der Herstellung von Kassetten. Diese Konfiguration ist entscheidend für die präzise und gesteuerte Diffusion von Verunreinigungen in das Halbleitermaterial.

Schwere Kassetten bestehen aus Widerstandsdraht mit größerem Durchmesser, der durch Erhitzung zylindrisch geformt und dann isoliert und ummantelt wird. Diese Kassetten können eine unterschiedliche Anzahl von Zonen aufweisen. Sie sind darauf ausgelegt, dass sie auf verschiedenen Anwendungsgebieten eine gleichmäßige und zuverlässige Erhitzung ermöglichen. Heißgewickelt mit spezifischer und gesteuerter Leistung für Genauigkeit des Innendurchmessers und reduzierte Drahtbelastung.

Die Wahl zwischen horizontalen und vertikalen Öfen hängt von verschiedenen Faktoren ab, einschließlich der spezifischen verwendeten Halbleiterfertigungsprozesse und den Zielen der Fertigungsanlage. Jede Ausrichtung hat ihre Vor- und Nachteile und die Auswahl kann durch Faktoren wie Wafergröße, Prozessanforderungen und den gesamten Fertigungsablauf beeinflusst werden.