Печи для осаждения из газовой фазы при низком давлении

Диффузионные кассеты для производства кремниевых пластин для солнечных батарей и полупроводников.

Металлические нагревательные элементы, нагревательные элементы из дисилицида молибдена и карбидокремниевые нагревательные элементы.

Готовые нагревательные модули с электрическими нагревательными элементами и волокнистой или плотной керамической изоляцией.