Диффузионные кассеты
Диффузионные кассеты Fibrothal® — это удобное в установке и эксплуатации решение для нагрева для производства высококачественных пластин кристаллического кремния и полупроводников. Конструкция диффузионных кассет отличается малой массой, в ней устанавливаются вертикальные или горизонтальные элементы для рабочих температур до 1350 °C (2460 °F). По запросу могут поставляться заказные нагреватели для особых условий.
Информация
Depending on the furnace requirements, Kanthal® can accomodate high-temperature demanding processes with our range of heating materials.
| Operating Temperature: | 300°C -1100°C | 600°C - 1250°C | 800°C - 1350°C |
| Primary Element Material (horizontal & vertical): | Kanthal® A-1, Kanthal® AMR & Kanthal APM™ | Kanthal® A-1, Kanthal® AMR & Kanthal APM™ | Kanthal APM™ & Kanthal APM™ HP |
| Dimensions: | Flexible to application requirements, consult factory | ||
Свойства
Benefits:
Depending on furnace requirements, both element orientations can be designed to perform consistently for extended lifetimes to reduce maintenance and replacement time. With options for Energy Savings Elements or fast cooling, Kanthal heating elements will help you maximize performance.
Applications:
The vertical and horizontal heating elements are used in many different atmospheric and LPCVD thermal processes. This includes pyrogenic oxidation, liquid source deposition as well as silicon nitriding and polysilicon processes.
Соответствующая продукция
Другая продукция, которая может Вас заинтересовать
