Cassetes de difusão de medidores leves

Os cassetes de medidores leves são compostos de fio de bitola leve que são formados em padrões sinusoidais ou bobinas do tipo mola. Medidor leve refere-se ao uso de bitola de menor diâmetro na construção de cassetes. Essa configuração é crucial para o controle preciso e o tempo de resposta do processo de difusão.

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Informação

Aplicações

Os processos LPCVD e as aplicações de baixa temperatura: Usados quando é necessário um controle preciso sobre baixas temperaturas. Aplicações como os processos LPCVD; polissilício, nitreto e óxido de baixa temperatura. Atmosférico; recozimento H2, cura de poli-imida.

Aplicações de resposta rápida à temperatura: Ideal para processos que exigem mudanças rápidas de temperatura.

Aplicações rápidas e frias: Eficiente em aplicações que requerem resfriamento rápido.

Um aquecedor típico de baixa massa consiste em:

  • Moldes cerâmicos de meia concha com sinuosidade de arame embutido ou bobinas de mola.
  • Molde cerâmico apoiado com fibra de manta seca para valor de isolamento projetado e compressão equilibrada.
  • Isoladores cerâmicos de extremidade de vestíbulo moldados a vácuo.
  • Variedades de pinças de posição de termopar.
  • Travas de bloqueios cerâmicos em elementos com barramento interno. Blocos de energia com barramento externo.

Características

  • Fio de bitola média e leve com sinuosidade ou enrolado a frio com máquinas de precisão.
  • Padrões de curvatura sinuosos típicos de 25 mm e 50 mm.
  • Invólucros exteriores em SST ou alumínio.
  • Design de baixa massa para baixas temperaturas e resposta térmica mais rápida.
  • Revestimento de superfície branco ou preto.

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