Casetes de difusión Fibrothal®

Los casetes de calibre pequeño están compuestos de hilos de calibre pequeño que se forman en patrones sinusoidales o bobinas de tipo resorte. El calibre pequeño hace referencia al uso de hilos pequeños en la construcción de casetes. Esta configuración resulta crucial para la difusión precisa y controlada de impurezas en el material semiconductor.

Los casetes de calibre grande se componen de un hilo de resistencia de mayor calibre al que se le da forma caliente cilíndrica y luego se aísla y se recubre. Estos casetes pueden presentar un número variable de zonas y se han diseñado para ofrecer un calentamiento constante y fiable en diversas aplicaciones. Bobinado en caliente con potencia específica y controlada para ofrecer precisión del diámetro interior y una reducción de la tensión del hilo.

La elección entre hornos horizontales y verticales está en función de varios factores, incluidos los procesos específicos de fabricación de semiconductores que se usan y los objetivos de la instalación de fabricación. Cada orientación tiene sus ventajas e inconvenientes y la selección puede verse influida por factores como el tamaño de la oblea, los requisitos del proceso y el flujo de trabajo de fabricación general.