Cassettes de diffusion horizontales et verticales

Les cassettes de diffusion Fibrothal®, disponibles en calibres légers et lourds, sont conçues et orientées horizontalement ou verticalement en fonction de leur utilisation prévue.

Le choix entre les fours horizontaux et verticaux dépend de divers facteurs, notamment des procédés de fabrication de semi-conducteurs spécifiques utilisés et des objectifs de l’installation de fabrication. La sélection peut être influencée par des facteurs tels que la taille de la plaquette, les exigences du processus et le flux de fabrication global.

En pratique, des fours horizontaux et verticaux sont utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, et le choix dépend des besoins spécifiques et des contraintes du processus de fabrication. Chaque orientation a son propre ensemble d’applications et les fabricants peuvent utiliser une combinaison des deux types de fours dans leurs installations de production.

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Cassettes horizontales

  • Les cassettes sont généralement destinées aux tranches <= 200 mm.>
  • Les températures atmosphériques du processus peuvent être de 600 à 1 350 °C (1 112 à 2 462 °F).
  • Les températures du processus LPCVD peuvent aller de 300 à 1 000 °C (572 à 1 832 °F).
  • L’équipement horizontal est assez manuel et l’automatisation n’est généralement pas intégrée dans les unités de fabrication des clients.
  • En règle générale, il existe trois à cinq zones de contrôle pour les cassettes horizontales.

Cassettes verticales

  • Les cassettes sont généralement destinées aux tranches >= 200 mm.
  • Les températures atmosphériques du processus peuvent être de 600 à 1 350 °C (1 112 à 2 462 °F).
  • Les températures du processus LPCVD peuvent aller de 300 à 1 000 °C (572 à 1 832 °F).
  • L’équipement est hautement automatisé au sein des unités de fabrication des clients.
  • En règle générale, il existe quatre à sept zones de contrôle pour les cassettes verticales.

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