Fibrothal®拡散炉用カセット

ライトゲージカセットは、正弦波パターンまたはスプリングタイプのコイルに形成されたライトゲージワイヤで構成されています。 ライトゲージとは、カセットの構築において薄いワイヤーを使用することを指します。 この構成は、半導体材料への不純物の拡散を正確かつ制御するために非常に重要です。

ヘビーゲージカセットは、より大きなゲージの抵抗線で構成され、円筒形に熱間成形し、絶縁してケースに入れたものです。 これらのカセットはさまざまなゾーン数を持つことができ、さまざまな用途で安定した信頼性の高い加熱を提供するように設計されています。 内径精度を高め、ワイヤ応力を軽減するため、ホットコイルは制御された電力で加工されています。

横型炉と縦型炉の選択は、採用される特定の半導体製造プロセスや製造施設の目標など、さまざまな要因によって決まります。 それぞれの方向には長所と短所があり、その選択は、ウェーハサイズ、プロセス要件、製造ワークフロー全体などの要因に影響される場合があります。