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フローヒーター制御システム

Kanthal®フローヒーターの制御システムは、1つ以上のフローヒーターを運用するのに役立つ多くの機能を備えており、高い操作安全性と優れた使用環境を実現します。 Kanthal®フローヒーターの制御システムは特許取得済みの加熱サイクル技術を特長とし、フローヒーターの寿命を伸ばし、冷却と加熱にかかる時間を短縮させます。 単相の障害に対する保護も内蔵し、ヒーターの最大限の寿命を保障します。 ブロワー制御によって、プロセスをより適切に制御することができ、オペレーターは1つのパネルのみですべてのプロセスパラメーターを制御することができます。

ライトゲージ拡散炉用カセット

細いワイヤの正弦波パターンを備えたライトゲージカセットは、半導体製造における正確な拡散に不可欠であり、低温プロセスや急速な熱変化に最適です。

水平および垂直拡散炉用カセット

半導体製造炉は、ウェーハサイズ、自動化レベル、および最適製造のためのプロセス要件に基づき、「水平」または「垂直」方向を使用します。

ヘビーゲージ拡散炉用カセット

より太い抵抗線を円筒形に熱間成形したヘビーゲージカセットは、最高1,300 °C(2372 °F)までの用途に対応し、さまざまなゾーンで安定した信頼性の高い加熱を実現します。

Fibrothal®拡散炉用カセット

拡散炉用カセットは、半導体製造時にウェーハを確実に保持し、正確なドーパント導入と温度/時間制御を容易にします。

Cuprothal® 49TC

Cuprothal® 49は、高い電気的抵抗、高い延性、優れた耐腐食性を特徴とする銅・ニッケル合金(CuNi合金)です。 600°C (1110°F)までの温度での使用に適しています。 Cuprothal® 49 TCの一般的な用途は、温度安定ポテンショメータ、工業用加減抵抗器、電気的モータースターター抵抗器です。 ごくわずかな温度係数と高固有抵抗の組み合わせにより、この合金は、精密抵抗器の巻き付けに特に適しています。 Cuprothal® 49 TCは電気銅と純ニッケルから製造されます。 高い電気的抵抗、高い延性、優れた耐腐食性を特徴とする銅・ニッケル合金(CuNi合金)。

スパイク熱電対

スパイク熱電対は、運転を正確に制御するために、横型ヒーターと縦型ヒーターで使われる極めて重要な温度測定装置です。 最高品質の素材で作られたこれらの熱電対は、独自の装置仕様に合わせて製造されます。 熱電対材料: タイプR、S、B、K、Platinell II セラミック直径(インチ): 0.1875、0.125、0.094 接点の構成: シングル、ダブル、トリプル 終端: 裸線、プラグ、ラグ 先端: くさび型、凹型、露出型 スパイク熱電対は、運転を正確に制御するために、横型ヒーターと縦型ヒーターで使われる極めて重要な温度測定装置です。

Globar® HD Max

Globar® HD Max 当社のGlobar® HD Maxの炭化ケイ素(SiC)ヒーターは、ハイテク用途のお客様、または厳しい条件下にあるお客様が、アップグレードによって製品の寿命を延ばし、信頼性と品質を改善できるように特別に開発されました。 Globar® HD MaxはGlobar®シリーズの最先端のSiC製品の一部を形成し、それぞれが特定の雰囲気と条件下での用途向けに開発されました。 Globar® HD

Globar® Precision Range

Globar® Precision Range Kanthal® Precision Rangeの製品は特定の用途または分野向けに設計されており、お客様に付加価値を提供します。 SiCがガラス製造、実験炉、リチウムイオン電池構成品などにもたらす利点をご覧ください。

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